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领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇微/纳米结构
  • 1篇纳米制造技术
  • 1篇科学家

期刊

  • 1篇电大理工

年份

  • 1篇2019
检索条件:
"作者=中华人民共和国科技部网站"
1 条 记 录,以下是 1-1
我国科学家在三维纳米结构的可控加工方面取得重要进展获取全文在线阅读
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出  处:《电大理工》 2019年第1期F0003-F0003,共1页
作  者:科技部 中华人民共和国科技部网站
摘  要:三维微/纳结构具有更大空间自由度、更丰富和更新奇的功能特性,在力学、生物医学、微电子及微纳光子学等领域展示出巨大优势和应用前景。然而,目前主流的微/纳米制造技术是基于平面工艺,不能直接用于三维微/纳米结构的加工。近年来,...
关 键 词:微/纳米结构 三维加工 加工方法 可控 科学家 纳米制造技术 空间自由度 功能特性 
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